什么是散装微机械加工？(bulk micromachining?)
批量微机械加工是一种制造极其微小的机械或电气元件的方法。这种工艺通常使用硅片，但偶尔也会使用塑料或陶瓷材料。体积微机械加工从一个固体零件开始，然后去除材料，直到达到最终形状，这与表面微机械加工相反，后者是逐层建立一个零件。进行批量微机械加工的最常见方法是通过选择性遮蔽和湿化学溶剂。这种方法较新的替代方法是使用等离子体或激光系统进行干式蚀刻，以去除不需要的材料。这通常比湿法蚀刻更精确，但也更昂贵。
微机械加工是制造非常小的部件的过程。这些部件可以是任何东西，从一个二极管到一个笔尖大小的齿形齿轮。有两种主要的方式来执行这一过程。表面微机械加工将使用硅片的各个层，在现有层的基础上创建一个零件。虽然这是一个非常重要的过程，但要做出完全独立和独特的作品比较困难。
为了制造这些类型的部件，制造商将使用批量微机械加工。在许多方面，这类似于用大理石雕刻雕像，只是规模小得多。对硅片进行加工，以去除最终作品中不需要的任何部分。批量加工将从大到小，而表面方法则从小到大。
绝大多数的批量微机械加工都使用硅。这种材料非常便宜，因为它占了地壳的近四分之一。此外，它拥有一个非常精细的晶体结构，可以分解成比人的头发还细的层。这使得这种材料能够在微观层面上和宏观层面上一样发挥作用。
最常见的批量微机械加工方法被称为湿式化学蚀刻。首先，工件被覆盖在一种材料中，以保护其不受选定的溶剂影响。然后有选择地去除保护罩，暴露出工件上要脱落的区域。工件被暴露在溶剂中，溶剂会溶解任何未受保护的区域，而使其余部分保持完整。之后，剩余的遮蔽材料被移除。
较新的批量微机械加工方法被称为干式蚀刻。这使用了一个高精度的设备，通常是激光，来汽化不需要的材料。与湿法相比，这少了几个步骤，而且完全没有潜在的危险溶剂。这种工艺没有更受欢迎的主要原因是，与湿法相比，它相对较新，以及购买设备的费用。
- 发表于 2022-02-10 17:27
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- 分类：科学
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