SEMとTEMの大きな違いは、SEMが反射電子を検出して画像を生成するのに対し、TEMは透過電子を検出して画像を生成する点である。

SEMやTEMは、電子顕微鏡で使用する分析装置で、電子ビームによって微小な物体の画像を得ることができます。

カタログ

1. 概要と主な相違点 2. SEMとは 3. TEMとは 4. 横並び比較 - 表形式でのSEMとTEM 5. まとめ

走査型電子顕微鏡(SEM)は何ですか？

SEMとは、Scanning Electron Microscope（走査型電子顕微鏡）の略です。試料の表面をスキャンして、試料の画像を作成するものです。試料に焦点を合わせた電子ビームを使用します。この電子が試料表面の原子と相互作用することで、表面形状を表すさまざまな信号が生成される。この信号を検出器が検知して画像を生成する。ここで使用する検出器は、エバーハート・ソーンリー検出器です。

図01：SEMサンプルチャンバー

この技術により、最大200万倍まで拡大した3次元の画像が得られ、さらに約0.4ナノメートルの解像度が得られます。

過渡電磁波（tem）は何ですか？

TEMとは、Transmission Electron Microscope（透過型電子顕微鏡）の略です。この顕微鏡は、試料に電子ビームを通過させます。そのため、試料の内部構造をイメージ化することができます。さらに、この画像は電子と試料の原子との相互作用によって作られる。さらに、蛍光板や写真フィルムに写すことも可能です。

図2：TEMで得られた画像

分解能を考えると、約0.5オングストロームの分解能が得られます。また、試料を約5,000万倍に拡大することができます。しかし、TEMが与える画像は2次元です。

走査型電子顕微鏡(SEM)と過渡的電磁波（tem）の違い

SEMは反射電子を検出することで画像を生成するのに対し、TEMは透過電子を検出することで画像を生成する点が異なります。0.4ナノメートル、TEMの分解能は約0.5オングストロームである。

概要 - 走査型電子顕微鏡(SEM) vs. 過渡的電磁波（tem）

SEMは反射した電子を検出して画像を生成するのに対し、TEMは透過した電子を検出して画像を生成するのが大きな違いです。

引用

1 Zhao, S. Y. et al."海洋マイクロプラスチック定量化の限界と改善・標準化の提案" 水圏環境におけるマイクロプラスチック汚染，2018年，27-49頁．, doi:10.1016/b978-0-12-813747-5.00002-3.