什么是散射计？(a scatterometer?)
散射计是一种精密测量设备，它可以传输微波能量，并读取从目标表面散射回来的光的反射，以获得尺寸数据。“后向散射”光可以读取为目标表面成像的图形或彩色图覆盖，从而允许非常精确的观察和测量。这项技术被用于实验室、现场和卫星的许多科学、工业和军事应用。一些用途包括测量海洋波高和流量，以确定用于海流分析和监测的风向和风速；此外，散射测量可以测量地形、全球气候和天气事件，以及精密微电路和纳米技术的构建。。
散射计测量在不利条件下进行，取代了不精确的技术，这些技术可能因云层覆盖到光学设备缺陷的不规则性而受到阻碍。使用微波脉冲提供信号和噪声的精确反馈，从而提供清晰、可靠和可重复的数据采集。从这项技术中获得的数据为许多领域的科学家提供了新的研究领域，包括海洋工业，其中散射测量法提供了对天气模式、渔业、海洋安全和全球气候的洞察。。
使用不同波长的光学探测器和激光器，散射计可以确定表面和底层基底的光学特性。地面技术可利用抛物面反射器、射频（RF）子系统、中频（IF）电子设备和数据采集装置。这种系统可以监测来自森林、土壤和植被等地形的后向散射数据。
在制造业中，散射计用于半导体制造，有时需要在原子水平上进行测量。半导体有许多层，需要精确排列到纳米级。计量学，或者说测量系统的研究和开发，已经采用了散射计量学，它甚至比用功能强大的显微镜进行的成像叠加技术都要好。工程师们不是将图像叠加，而是将不同波长的光散射到半导体晶片上，并使用软件和算法测量它们的双向反射率。这允许精确测量微小偏差，而无需依赖不规则的显微镜光学或操作。。
散射计技术允许通过仔细分析衍射光（与周期性散射表面的线形变化相比），对材料或表面进行快速、无损的分析。这项技术被安置在许多卫星上，用于监测地球表面的均匀雷达截面或“条带”。再加上测绘技术、通信系统和其他天气或搜索救援服务，这使得从土壤湿度到火山事件的一切都能以精确的尺寸变化清晰地显示出来。。
双向反射分布函数（BRDF）描述了用于光学、热力学和计算机科学的真实表面的光反射的材料特性。穹顶散射计等创新技术允许测量多个入射角下的多重衍射，包括从天顶和方位角散射的光。这允许在读取散射结构时具有更高的灵敏度，允许在更短的时间内获取更多的数据。
- 发表于 2021-12-30 13:02
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