什么是椭圆仪？(an ellipsometer?)

椭偏仪是一种光学技术，用于测量极薄薄膜或材料层的厚度和光学特性。可测量的特性是折射率，即光线弯曲的程度，以及被称为吸收系数的光吸收水平。椭偏仪是用来进行这些测量的设备。...

椭偏仪是一种光学技术，用于测量极薄薄膜或材料层的厚度和光学特性。可测量的特性是折射率，即光线弯曲的程度，以及被称为吸收系数的光吸收水平。椭偏仪是用来进行这些测量的设备。

椭偏仪的工作原理是将一个明确的光源照射在一种材料上，并捕捉反射。现代椭偏仪使用激光器，通常是氦氖激光器作为光源。椭偏仪光束首先通过偏振器，这样只有朝向已知方向的光才能通过。然后，它通过一个称为补偿器的装置，使光束椭圆偏振。剩下的光会从研究中的材料上反射回来。

分析依赖于斯奈尔定律；当光束击中材料时，有些会立即反射，有些会在反射前穿过材料的远侧。通过测量两次反射之间的差异，可以确定设备的厚度。反射光的偏振度也会发生变化；这种变化用于计算折射率和吸收系数。

为了使椭偏仪正常工作，被检查的材料必须满足某些物理特性。样品必须由少量定义明确的层组成。这些层必须是光学均匀的，在各个方向上具有相同的分子结构，并反射大量的光。如果违反了这些要求中的任何一项，标准程序将不起作用。

椭偏仪是非常敏感的设备，能够测量像一个原子一样薄的层。它们被广泛应用于半导体制造业，在半导体制造业中，连续的材料层通过化学方法相互叠加。

椭偏仪是非破坏性的；通过椭偏仪测量的材料不会受到工艺的不利影响。由于这一特点，椭偏仪在生物科学中的应用正在增加。生物材料远不如人造材料均匀，通常不具备传统椭偏仪所需的物理特性。新技术，如使用多个不同角度排列的椭偏仪，已被开发用于处理此类材料。。

发表于 2022-02-08 18:30
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分类：科学

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