暂无介绍
MEMS代表微机电系统,指的是功能机器系统,其部件以微米为单位进行测量。MEMS通常被视为传统宏观机械和未来纳米机械之间的垫脚石。MEMS的前身已经以微电子的形式出现了一段时间,但这些系统是纯电子的,除了一系列电脉冲之外,无法处理或输出任何东西。然而,现代MEMS制造技术在很大程度上基于用于制造集成电路的相同技术,即采用光刻技术的薄膜沉积技术。。...
微机械,也被称为微电机械系统(MEMS),是在较小水平上对工程结构和系统的研究,通常以毫米到微米为单位,单位为百万分之一米。随着物体变小,力学和工程原理也会发生变化,这就要求在分析和开发微型设备时考虑到尺寸。材料的微观力学是在复合材料的单个成分水平上对其进行分析,以预测这些材料在各种条件下的反应。。...