暂无介绍
MEMS代表微机电系统,指的是功能机器系统,其部件以微米为单位进行测量。MEMS通常被视为传统宏观机械和未来纳米机械之间的垫脚石。MEMS的前身已经以微电子的形式出现了一段时间,但这些系统是纯电子的,除了一系列电脉冲之外,无法处理或输出任何东西。然而,现代MEMS制造技术在很大程度上基于用于制造集成电路的相同技术,即采用光刻技术的薄膜沉积技术。。...