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化学气相沉积(CVD)是一种化学工艺,使用反应性气体室来合成高纯度、高性能的固体材料,如电子元件。 集成电路的某些组件需要由多晶硅、二氧化硅和氮化硅等材料制成的电子元件。 化学气相沉积工艺的一个例子是用硅烷(SiH4)合成多晶硅,使用这种反应。...