【线宽粗糙度】的知识问答

线宽粗糙度

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什么是纳米光刻？(nanolithography?)

纳米光刻技术是一个术语，用来描述一系列创造难以置信的小结构的技术。所涉及的尺寸约为几十纳米（nm）。纳米是十亿分之一米，比一根头发的宽度小得多。之所以使用“光刻”一词，是因为图案生成的方法基本上与书写相同，只是规模小得多。...