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MEMS代表微机电系统,指的是功能机器系统,其部件以微米为单位进行测量。MEMS通常被视为传统宏观机械和未来纳米机械之间的垫脚石。MEMS的前身已经以微电子的形式出现了一段时间,但这些系统是纯电子的,除了一系列电脉冲之外,无法处理或输出任何东西。然而,现代MEMS制造技术在很大程度上基于用于制造集成电路的相同技术,即采用光刻技术的薄膜沉积技术。。...
压阻式传感器是一种利用某些半导体材料在受到机械应力时电阻率的变化来实现电子动作的装置。这种压阻现象是基于这些材料在暴露于压力或应力下弯曲时,其潜在电阻特性发生变化的趋势。这会导致通过该装置的任何电流发生相应变化,并转化为测量值或读数。压阻器件中常用的半导体材料通常与大多数电子元件中使用的基本金属和硅系列材料相同。这些元件具有广泛的灵敏度特性,以适应不同行业的要求。。...