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光电蚀刻是一种在集成电路中创造线条或色调的工艺。板材可能被蚀刻,也可能不被蚀刻,但由于蚀刻深度的均匀性,色调的变化总是很小。蚀刻是一个可以是湿的或干的过程。湿法蚀刻是将材料溶解在化学溶液中,而干法蚀刻是在离子或蒸汽的帮助下将材料溶解。...